日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 GR60A 簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列

簡(jiǎn)要描述：日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 GR60A 簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專(zhuān)為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)：GR90A
廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
更新時(shí)間：2025-11-16
訪(fǎng) 問(wèn) 量：504

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詳情介紹

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 GR60A 簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列

特點(diǎn)

通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，進(jìn)行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專(zhuān)為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

規(guī)格

型號(hào)			GR60A	GR90A	GR180A
最大排氣速度	50Hz	m³/h(L/min)	62(1030)	112(1860)	183(3100)
	60Hz	m³/h(L/min)	80(1333)	126(2100)	237(3850)
極限壓力 *1		Pa	5.0
最大排氣壓力（吸入圧力）			大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		Pa	1.0 ~ 大氣壓
吸氣口			VG50	VG80
排氣口			NW40
DRP表面處理			〇
電機(jī)	輸出 [kW]		2.2	3.7	7.5
	電壓 [V]	50Hz	200~240/380~415
		60Hz	200~240/380~460
質(zhì)量		kg	128	188	268
冷卻方式	冷卻水一次供給壓力	MPa	0.1~0.3
	冷卻水出入口壓差	MPa	>0.1
	冷卻水溫度	℃	10~30 *2
	冷卻水流量	L/min	>5.0
氮?dú)?/td>	一次側(cè) 供給圧力	MPa	0.1~0.5
	二次側(cè) 調(diào)整圧力 *3	MPa	0.05 to 0.1 (運(yùn)作時(shí))
	軸	SLM	5.0 *4

*1 極限壓力是氮?dú)猓ㄝS封氣體）為5.0 SLM時(shí)的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過(guò)調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計(jì)值。
*4 氮?dú)猓ㄝS封氣體）的流量固定為5.0SLM。

配件

型號(hào)		材質(zhì)	表面處理	重量(kg)	法蘭接口	GR60A	GR90A	GR180A
消音器	RS-01+ 套件A	SUS304	GBB處理	4.1	KF40	〇	〇	-
消音器	RS-01+ 套件C	SUS304	GBB處理	8.3	KF40	-	-	〇