愛發(fā)科CR300B是一款多級羅茨型干式真空泵，屬于CR系列Ver.B中的大抽速型號，憑借無油潔凈的運行特性、高效的抽氣能力和廣泛的適配性，成為工業(yè)與科研領(lǐng)域真空解決方案的優(yōu)選設備。該泵通過了CE、cTUVus國際安全合規(guī)認證，可在全球范圍內(nèi)的半導體制造、真空鍍膜、分析儀器等場景穩(wěn)定運行，尤其適配對真空潔凈度和抽氣效率要求嚴苛的中高真空需求場景。

二、核心工作原理

CR300B采用多級羅茨壓縮結(jié)構(gòu)，泵殼內(nèi)配置兩支三葉截面轉(zhuǎn)子，通過齒輪驅(qū)動實現(xiàn)反向同步旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子與殼體、轉(zhuǎn)子之間保持微米級間隙，全程無接觸運行。氣體從進氣口進入第一級轉(zhuǎn)子腔室后，隨轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)完成吸入、輸送與初步壓縮，再通過級間流道進入后續(xù)壓縮級，逐級提升壓力后從排氣口排出。這種多級壓縮設計讓泵可直接從大氣壓力啟動，無需前級泵輔助，且通過精密密封件隔離軸承與齒輪的潤滑油，從根源杜絕油霧返流，確保真空環(huán)境清潔無油。

三、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

CR300B在CR系列中主打大抽速性能，抽速可達300m3/h，覆蓋了CR16B（16m3/h）至CR60B（55m3/h）無法滿足的中高吞吐率場景。其極限真空性能優(yōu)異，搭配氣鎮(zhèn)機構(gòu)時，最大水蒸氣處理量可達500g/h，能高效應對含濕氣體環(huán)境。泵體采用空冷散熱設計，無需冷卻水與氮氣輔助，搭載的DC密封電機兼具低功耗、高氣密性與輕量化特點，整機重量控制合理，適配緊湊空間集成需求。

四、核心技術(shù)優(yōu)勢

1. 無油潔凈運行

泵腔內(nèi)部無真空油參與，轉(zhuǎn)子非接觸式設計消除了機械磨損，既延長了設備使用壽命，又避免了油霧污染，適配半導體芯片制造、精密光學鍍膜等對雜質(zhì)敏感的工藝。

2. 低成本運維

空冷設計省去了冷卻水循環(huán)系統(tǒng)的安裝與維護成本，無需軸封氮氣等輔助氣體，日常運維僅需常規(guī)檢查，相比傳統(tǒng)油泵大幅降低了長期運營支出。

3. 高效節(jié)能可選

可選配ECO-SHOCK節(jié)能裝置，安裝于排氣線路后，可在不影響抽氣性能的前提下降低最高80%的功耗，同時抑制泵體發(fā)熱量，間接減少車間空調(diào)能耗，適合連續(xù)運行的工業(yè)場景。

4. 環(huán)境適應性強

氣鎮(zhèn)機構(gòu)可防止水蒸氣在泵腔凝結(jié)，提升對真空干燥、食品凍干等含濕工藝的適配能力；寬溫域運行設計與良好的粉塵耐受度，讓設備可在復雜工業(yè)環(huán)境中穩(wěn)定工作。

五、典型應用場景

在半導體制造領(lǐng)域，CR300B可用于光刻、蝕刻、薄膜沉積等工藝的真空排氣，抽取空氣、惰性氣體等潔凈介質(zhì)；在真空鍍膜行業(yè)，為濺射、蒸鍍設備提供快速抽氣與高潔凈真空環(huán)境，保障鍍膜均勻性；在科研與分析儀器領(lǐng)域，適配質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等設備的真空系統(tǒng)需求；此外，還可應用于食品真空包裝、醫(yī)藥凍干等場景，滿足不同行業(yè)對真空環(huán)境的多樣化需求