進(jìn)口HORIBA堀場(chǎng) 激光氣體分析儀設(shè)備

進(jìn)口HORIBA堀場(chǎng) 激光氣體分析儀設(shè)備

配備PI功能
配備最新算法，即使面對(duì)快速的壓力波動(dòng)也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制，允許設(shè)計(jì)消除每個(gè)氣體管路的壓力控制功能。實(shí)現(xiàn)燃?xì)夤苈返暮?jiǎn)化。多量程/多氣體功能允許用戶更改氣體類(lèi)型和滿量程流量1秒內(nèi)全量程快速響應(yīng)由于不需要調(diào)節(jié)器、壓力表和過(guò)濾器，有助于使燃?xì)夤艿栏泳o湊。不受一次壓力或二次壓力波動(dòng)的影響配備入口壓力傳感器配備多顯示功能高精度
1% SP保證流量精度超潔凈
金屬膜片，全不銹鋼，內(nèi)部拋光標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置網(wǎng)絡(luò)功能，采用數(shù)字信號(hào)控制。

尺寸緊湊，

可選擇的通信方式

陣容：數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通訊方式    驅(qū)動(dòng)電源    產(chǎn)品型號(hào)

數(shù)字通訊

可滾動(dòng)的

寬廣的流量控制范圍，從 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開(kāi)始執(zhí)行

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能，實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度

全流量范圍快速響應(yīng)：1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能，

允許用戶改變氣體類(lèi)型和滿量程流量。

在整個(gè)流量范圍內(nèi)（上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值）響應(yīng)時(shí)間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進(jìn)的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過(guò)程優(yōu)化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應(yīng)

實(shí)現(xiàn)了高生產(chǎn)率并提高了工藝性能。

減少批量生產(chǎn)穩(wěn)健的 CIP 壓力傳感器的停機(jī)時(shí)間和工時(shí)，實(shí)現(xiàn)  

PFA 噴嘴的閥門(mén)關(guān)閉性能和耐磨性提高了 10 倍以上

，從而減少了停機(jī)時(shí)間并優(yōu)化了產(chǎn)量。

狀態(tài)監(jiān)控功能

提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)并實(shí)現(xiàn)更智能的故障預(yù)測(cè)。

  HORIBA專(zhuān)有的紅外氣體分析技術(shù)“IRLAM TM "（紅外激光吸收調(diào)制），可實(shí)時(shí)測(cè)量半導(dǎo)體制造蝕刻過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣成分SiF4，并檢測(cè)微量的SiF可以從4中檢測(cè)端點(diǎn)的變化。