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產品型號：日本原廠 ISX2廠商性質：經銷商更新時間：2025-11-17訪 問 量：505ULVAC愛發(fā)科 通用型炎熱電離真空計轉氨酶 AxTRAN
ULVAC愛發(fā)科 通用型炎熱電離真空計轉氨酶 AxTRAN
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態(tài)確認等。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環(huán)境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設備
AxTRAN是在離子源和離子收集器之間配置了Bessel-Box型能量過濾器的熱陰極電離真空計。
由于降低了軟X射線，ESD離子等的剩余電流，實現了0.5×10 -10 Pa的測定分辨率。
可以測量10 -11 Pa
可以減少諸如軟X射線和ESD離子之類的剩余電流
測量區(qū)域廣1×10 -2～0.5×10 -10 Pa
標準壓力0～10V模擬日志輸出/每個數字內1V線性輸出
可以輸出2個設定點
BCD/RS232C(可選)
用于真空設備，如高能加速器壓力測量
用于超高、超高真空設備的壓力測量
| 模型 | ISX2 |
| 可測壓力范圍 | 5×10 -11至 1×10 -2 Pa (3.75×10 -13至 7.5×10 -5 Torr, 5×10 -13至 1×10 -4 mbar) |
| 測量分辨率 | 0.5×10 -10 Pa（0.375×10 -12托，0.5×10 -12毫巴） |
| 展示 | 數字顯示，3位尾數，2位指數 |
| 脫氣 | 電子激發(fā)解吸式 |
| 測量值輸出 | 線性輸出 0 至 10 VDC |
| 偽對數輸出 0 至 10V（每位 1V 線性信號） | |
| 設定點 | 2 分 |
| 工作溫度范圍 | 10 至 40?C（50 至 104?F） |
| 工作濕度范圍 | 15～80％（無結露） |
| 電源電壓 | AC85至240V |
| 外形尺寸 寬×深×高 | 240毫米×350毫米×99毫米 |
| 重量 | 5.3公斤 |
| 標準配件 | AC100V（3P帶地線插頭）電源線，說明書 |
| 選項 | 傳感器：X-11 |
| 傳感器電纜：5、10、20m | |
| BCD輸出，RS232C/485 |
| 兼容傳感器頭 | X-11 |
| 能量過濾器 | 貝塞爾盒型 |
| 燈絲 | Ir?Y2O3 × 2 |
| 安裝法蘭 | UFC-070 |
| 最高烘烤溫度 | 300℃ (572?F) 無傳感器電纜 |
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