池田屋 ROOKS 模塊化設計控制儀器儀表 SLA5851 

池田屋 ROOKS 模塊化設計控制儀器儀表 SLA5851 

一臺設備支持多種氣體，最大限度地提高工藝靈活性和生產率。 GF40 系列彈性密封質量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術，非常適合使用多種氣體、經常更改氣體類型或保持氣體測量和控制精度的應用，是系統(tǒng)、過程和設施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測量和控制性能，將您的過程靈活性提升到一個新的水平。

利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產正常運行時間，該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍，而無需從氣體管線中拆除質量流量控制器 (MFC)。

簡單易懂的 MultiFlo™ 編程：60 秒內即可在不同氣體選擇之間切換

減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫存

通過基于全球標準的高性能測量系統(tǒng)和校準實現的過程氣體精度

耐腐蝕傳感器提供傳感器的長期穩(wěn)定性，確保最大產量和吞吐量

用戶可訪問的服務端口簡化了故障排除和診斷

彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應用中提供靈活的性能

支持多種協(xié)議通信接口集成到現有系統(tǒng)中

利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產正常運行時間，該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍，而無需從氣體管線中拆除質量流量控制器 (MFC)。

簡單易懂的 MultiFlo™ 編程：60 秒內即可在不同氣體選擇之間切換

減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫存

通過基于全球標準的高性能測量系統(tǒng)和校準實現的過程氣體精度

耐腐蝕傳感器提供傳感器的長期穩(wěn)定性，確保最大產量和吞吐量

用戶可訪問的服務端口簡化了故障排除和診斷

彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應用中提供靈活的性能

支持多種協(xié)議通信接口集成到現有系統(tǒng)中

流量范圍（滿量程容量）3 sccm - 50 slpm

準確性

SP 35-100% 的 1%，FS 2-35% 的 0.35%

再現性

0.20% SP

線性度

±0.5% FS（包含在精度內）

響應時間

常閉閥：300 毫秒 -<1 秒

多氣體多范圍MultiFlo™ 可用

控制范圍

2-100%

垃圾箱數量

10 個垃圾箱

閥門關閉

當設定點低于滿量程的 1.5% 時關閉閥門

零穩(wěn)定性每年 <±0.5% FS

壓力系數

0.03% 每 psi (0-50psi N2 )