池田屋新品推出ESD防靜電真空吸筆 C003-Y-92-CP

池田屋新品推出ESD防靜電真空吸筆 C003-Y-92-CP

摘要

池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司近日推出C003-Y-92-CP ESD防靜電真空吸筆，專為8英寸（200mm）半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)設(shè)計(jì)。該產(chǎn)品為NO+SW（常開+開關(guān)）閥門類型，采用固定式接頭，總長(zhǎng)247mm，重量26g。主體采用導(dǎo)電尼龍材質(zhì)，采用導(dǎo)電PEEK材質(zhì)，可有效減少靜電對(duì)晶圓的影響。閥體內(nèi)壁經(jīng)過(guò)精細(xì)拋光處理，最大限度減少顆粒產(chǎn)生，適用于潔凈室環(huán)境下的晶圓與芯片搬運(yùn)操作。

正文

在半導(dǎo)體晶圓制造與封裝過(guò)程中，晶圓的安全搬運(yùn)是保障產(chǎn)品良率與品質(zhì)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)的金屬吸筆容易劃傷晶圓表面，而普通塑料吸筆則無(wú)法提供足夠的靜電防護(hù)，導(dǎo)致靜電放電（ESD）對(duì)晶圓上的精密電路造成潛在損傷。此外，潔凈室環(huán)境對(duì)顆粒污染有嚴(yán)格要求，吸筆在操作過(guò)程中產(chǎn)生的微小顆?？赡苡绊懢A表面的潔凈度。針對(duì)8英寸晶圓搬運(yùn)的ESD防護(hù)、低顆粒產(chǎn)生與操作便捷性等多重需求，池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司推出C003-Y-92-CP ESD防靜電真空吸筆。該產(chǎn)品現(xiàn)已正式供應(yīng)，為半導(dǎo)體晶圓安全搬運(yùn)提供可靠的解決方案。

C003-Y-92-CP是C系列ESD真空吸筆中的NO+SW（常開+開關(guān)）閥門類型產(chǎn)品。與NC（常閉）型不同，NO+SW型在未按壓開關(guān)時(shí)保持真空吸附狀態(tài)，操作者可通過(guò)按壓開關(guān)釋放晶圓，這一設(shè)計(jì)更適合需要長(zhǎng)時(shí)間保持吸附的搬運(yùn)作業(yè)，顯著減輕操作人員的手指疲勞。產(chǎn)品采用固定式接頭設(shè)計(jì)，確保與真空管路連接的可靠性與氣密性，避免因連接松動(dòng)導(dǎo)致的吸附力不穩(wěn)定問(wèn)題。

在材質(zhì)與靜電防護(hù)方面，C003-Y-92-CP主體采用導(dǎo)電尼龍材質(zhì)，采用導(dǎo)電PEEK（聚醚醚酮）材質(zhì)。導(dǎo)電尼龍具有良好的靜電消散性能，可將操作過(guò)程中產(chǎn)生的靜電安全導(dǎo)地，避免靜電積累對(duì)晶圓電路的潛在損傷。導(dǎo)電PEEK在具備優(yōu)異靜電防護(hù)性能的同時(shí)，具有良好的耐磨性與耐化學(xué)性，且不會(huì)劃傷晶圓表面。閥體內(nèi)壁經(jīng)過(guò)精細(xì)拋光處理，最大限度減少閥芯運(yùn)動(dòng)過(guò)程中因摩擦產(chǎn)生的顆粒，滿足潔凈室環(huán)境對(duì)顆粒污染的嚴(yán)格要求。

在規(guī)格方面，C003-Y-92-CP總長(zhǎng)為247mm，重量?jī)H26g，輕量化設(shè)計(jì)有效減輕操作人員長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)的負(fù)擔(dān)。緊湊的尺寸便于在潔凈室工作臺(tái)等有限空間內(nèi)靈活操作。產(chǎn)品需與真空泵、ESD防靜電管、靜電消散接地套件等配件配合使用，建議用戶構(gòu)建完整的ESD安全搬運(yùn)系統(tǒng)，確保從吸筆到工作臺(tái)的整體靜電防護(hù)鏈路的完整性。

在應(yīng)用場(chǎng)景方面，C003-Y-92-CP廣泛適用于8英寸半導(dǎo)體晶圓的搬運(yùn)與轉(zhuǎn)移、芯片與裸片的拾取與放置、SMD元件的安全操作、光學(xué)元件的無(wú)損傷搬運(yùn)，以及各類需要潔凈室環(huán)境與靜電防護(hù)的精密操作場(chǎng)景。

C003-Y-92-CP廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、晶圓處理、芯片組裝及潔凈室操作等領(lǐng)域。池田屋表示，該產(chǎn)品以NO+SW閥門設(shè)計(jì)、導(dǎo)電PEEK與低顆粒產(chǎn)生特性，為半導(dǎo)體晶圓的安全搬運(yùn)提供了可靠的ESD防護(hù)解決方案。