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產(chǎn)品分類
Product Category池田屋推出光津精機(jī)（Kohzu Precision）品牌MVSA13A-RM01真空兼容旋轉(zhuǎn)平臺。該產(chǎn)品為采用精密十字滾輪導(dǎo)軌的真空兼容型自動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺，臺面尺寸130×130mm，旋轉(zhuǎn)范圍±10°，分辨率0.00009°（微步進(jìn)），水平承載能力98N（10kgf），適用于真空環(huán)境下的精密角度定位與調(diào)整應(yīng)用。
一、產(chǎn)品概述
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 產(chǎn)品名稱 | 真空兼容旋轉(zhuǎn)平臺 |
| 型號 | MVSA13A-RM01 |
| 品牌 | 光津精機(jī)（Kohzu Precision） |
| 臺面尺寸 | 130mm × 130mm |
| 導(dǎo)向方式 | 精密十字滾輪導(dǎo)軌 |
| 旋轉(zhuǎn)范圍 | ±10° |
| 進(jìn)給方式 | 蝸桿和蝸輪 1/400 |
| 材質(zhì) | 鋁合金 |
| 本體重量 | 約5.1kg |
| 工作距離 | 173mm ±0.5mm |
二、運(yùn)動(dòng)與分辨率
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 分辨率（全步/半步） | 0.0018° / 0.0009° |
| 分辨率（微步進(jìn)1/20格） | 0.00009° |
| 最高速度 | 4.5°/s（5kHz半步） |
| 失動(dòng)量 | ≤0.01° |
| 背隙 | ≤0.006° |
| 旋轉(zhuǎn)中心位移 | φ0.05mm/±10° |
三、剛性
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 彎矩剛度 | 0.02角秒/N·cm |
| 水平承載能力 | 98N（10kgf） |
四、電氣規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 電機(jī) | 真空兼容5相步進(jìn)電機(jī) |
| 額定電流 | 1.4A/相 |
| 基本步進(jìn)角 | 0.72° |
| 連接器類型 | 真空兼容D-sub 9針連接器（Accu-Glass Products 9D-HVCP） |
五、核心特點(diǎn)
真空兼容旋轉(zhuǎn)定位：專為真空環(huán)境設(shè)計(jì)的自動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺，適用于真空腔體內(nèi)的精密角度調(diào)整。
超高角度分辨率：微步進(jìn)分辨率0.00009°，實(shí)現(xiàn)精度的角度定位。
高精度蝸桿蝸輪驅(qū)動(dòng)：采用蝸桿和蝸輪進(jìn)給方式（減速比1/400），確保平滑、精確的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
大臺面大承載：臺面尺寸130×130mm，水平承載能力98N（10kgf），可承載較大工件。
鋁合金材質(zhì)：主體采用鋁合金材質(zhì)，輕量化且具有良好的真空兼容性。
精密十字滾輪導(dǎo)軌：采用精密十字滾輪導(dǎo)軌，確保旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的高剛性和穩(wěn)定性。
六、典型應(yīng)用場景
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 具體用途 |
|---|---|
| 真空環(huán)境 | 真空腔體內(nèi)的大臺面精密角度定位 |
| 半導(dǎo)體制造 | 真空工藝中的大尺寸晶圓角度調(diào)整 |
| 表面分析 | XPS、AES等真空分析設(shè)備的樣品角度定位 |
| 薄膜沉積 | 濺射、蒸鍍等真空工藝中的大尺寸基板角度調(diào)整 |
| 同步輻射 | 真空光束線中的光學(xué)元件角度定位 |
| 科研實(shí)驗(yàn) | 真空環(huán)境下的精密角度測量與定位 |
七、使用注意事項(xiàng)
本產(chǎn)品為真空兼容型旋轉(zhuǎn)平臺，但真空度等級需根據(jù)具體配置確認(rèn)
使用前需確認(rèn)真空兼容電機(jī)的規(guī)格和連接器類型
安裝時(shí)需注意真空環(huán)境下的散熱和材料放氣特性
水平承載能力98N（10kgf），請勿超載使用
旋轉(zhuǎn)中心位移φ0.05mm/±10°，確保旋轉(zhuǎn)精度
建議在清潔環(huán)境中安裝，避免顆粒污染
池田屋表示，光津精機(jī)MVSA13A-RM01真空兼容旋轉(zhuǎn)平臺憑借0.00009°超高角度分辨率、蝸桿蝸輪驅(qū)動(dòng)及98N高承載能力，可滿足真空環(huán)境下的高精度角度定位需求。
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