在科學實驗、分析儀器、半導體制造以及醫(yī)療設備等眾多高精尖領域，真空環(huán)境的質量直接影響著最終結果的精度與產(chǎn)品的良率。愛發(fā)科ULVAC作為全球真空技術領域，推出了DTC-41隔膜式干泵。該產(chǎn)品采用無油的設計理念，杜絕了油蒸氣對真空腔體及工作環(huán)境的污染，成為對潔凈度有嚴苛要求的應用場景的理想選擇。
一、產(chǎn)品介紹
DTC-41是一款小型、緊湊的隔膜式干泵?！案杀?意味著泵的抽氣腔室內不使用任何油或水作為工作介質，被抽氣體通過泵體時不會接觸潤滑油，從而保證排出氣體的純凈無油。這從根本上解決了傳統(tǒng)油封旋片泵可能帶來的油蒸氣返流、油霧排放以及定期更換泵油的繁瑣維護問題。
DTC-41的核心工作原理是基于隔膜的往復運動。泵內的電機通過偏心機構驅動彈性隔膜做周期性伸縮運動，配合精密的單向閥，實現(xiàn)氣體的吸入、壓縮與排出。整個運動過程中，僅有隔膜和閥片與氣體接觸，這些部件均采用耐腐蝕、耐老化的特種氟橡膠或高分子材料制成，確保了泵在長期運行中的化學穩(wěn)定性與機械耐久性。
外觀上，DTC-41結構緊湊、體積小巧、重量輕便，可輕松放置在實驗臺面上或集成到各類儀器設備內部。表面經(jīng)過特殊處理，耐腐蝕且易于清潔。泵體運行時噪音極低、振動微小，不會對周圍高靈敏度的分析儀器產(chǎn)生干擾，非常適合在安靜的實驗室環(huán)境中長期工作。
二、技術參數(shù)
| 參數(shù)項目 | 技術規(guī)格 |
|---|---|
| 抽速（50/60Hz） | 40 / 48 L/min |
| 極限壓力 | ≤ 6.7 × 103 Pa |
| 最大排氣壓力 | 0.3 MPa（表壓） |
| 進氣口口徑 | Rc 1/4 或 M14×1.5（外螺紋） |
| 排氣口口徑 | Rc 1/4（內螺紋） |
| 接觸氣體材料 | 隔膜：特種氟橡膠；閥片：氟橡膠；泵頭：鋁合金（表面處理） |
| 額定電壓 | AC 100V / 115V / 200V / 220V / 230V / 240V（50/60Hz，取決于型號） |
| 電機功率 | 約 70 W |
| 電流（典型值） | 1.0 ~ 1.5 A（依電壓而定） |
| 工作溫度范圍 | 5℃ ~ 40℃（無結冰） |
| 涂裝色 | 主體：米色；頂蓋：深灰色 |
| 安裝方式 | 水平安裝（帶橡膠腳墊） |
| 重量 | 約 8.5 kg |
| 外形尺寸（寬×深×高） | 約 142 × 300 × 185 mm（不含突出部） |
| 噪音水平（50/60Hz） | ≤ 46 / 52 dB(A)（1米處） |
| 振動 | 極低（無需特殊減振基礎） |
| 適用氣體 | 空氣、惰性氣體、低腐蝕性氣體（非易燃易爆） |
| 最大允許含水率 | 無結露 |
| 防護等級 | IP20 |
| 冷卻方式 | 自然空冷（風扇輔助散熱） |
| 使用壽命 | 隔膜：約 5000 ~ 10000 小時（依使用條件） |
| 維護周期 | 通常 1 年或 5000 小時（建議檢查/更換隔膜） |
三、用途與典型應用場景
1. 分析儀器與科學實驗室
這是DTC-41最主要的應用領域。在質譜分析儀（GC-MS、LC-MS、ICP-MS）中，DTC-41常作為前級粗抽泵，為渦輪分子泵提供預備真空，同時確保無油蒸氣污染分析室，避免背景噪聲升高。在電子顯微鏡（SEM、TEM）中，用于樣品交換室的快速抽空，防止樣品被碳氫化合物污染。此外，在表面科學設備（XPS、AES）、真空干燥箱、真空濃縮儀、離心濃縮機、冷凍干燥機等實驗室通用設備中，DTC-41提供穩(wěn)定持久的真空動力。
2. 半導體與電子制造
在晶圓搬運與吸附系統(tǒng)中，DTC-41提供清潔的真空源，確保吸盤不會因油霧而污染晶圓背面。在氦質譜檢漏儀中，作為粗抽泵，其無油特性避免了檢漏儀內部質譜室的污染，延長核心部件壽命。在芯片封裝點膠前，用于對區(qū)域抽真空以去除氣泡，避免膠體污染。
3. 醫(yī)療與生物技術
在部分需要高潔凈度負壓的醫(yī)療設備中，DTC-41可作為負壓源用于廢液吸引。在真空采血管生產(chǎn)過程中，對管內進行抽真空處理，保證管內潔凈。在生物安全柜中，用于維持負壓梯度，防止有害氣溶膠外泄。
4. 環(huán)境監(jiān)測與處理
在大氣環(huán)境監(jiān)測、煙道氣分析、汽車尾氣檢測等應用中，DTC-41作為采樣泵，其無油特性確保抽取的氣體樣本不會被油蒸氣污染，保證NOx、SOx、VOCs等微量成分的測量準確度。在環(huán)境水樣的真空過濾中，提供安靜、清潔的抽濾動力。
5. 科研與教育
在大學物理、化學、材料科學實驗室及中學物理教學演示中，DTC-41是理想的真空源設備。它安全、安靜、無需加油維護，學生可在無油霧異味的環(huán)境中學習真空的基本原理和操作方法，可用于真空沸騰、真空包裝演示、真空浸漬等實驗。
四、總結
愛發(fā)科ULVAC DTC-41隔膜式干泵集潔凈、安靜、可靠、免維護于一身，以創(chuàng)新的隔膜技術為核心，為分析儀器、實驗室科研、半導體制造、醫(yī)療設備及環(huán)境監(jiān)測等眾多應用領域提供了潔凈無油的真空環(huán)境。選擇DTC-41，意味著選擇了對樣品純度與實驗精度的尊重，對實驗室環(huán)境與人員健康的負責態(tài)度，以及低維護成本、高運行穩(wěn)定性的長期解決方案。
