AA100W 是荏原制作所（EBARA Corporation）推出的一款單級、氣冷式、干式螺旋真空泵。它采用無油干式壓縮技術(shù)，泵腔內(nèi)無需任何潤滑油或密封液，因此排出的氣體潔凈無油霧，不會污染工藝環(huán)境或被抽容器。
該型號屬于AA系列，定位于中等抽速、高可靠性、低維護(hù)的應(yīng)用場景，是油旋片泵和液環(huán)泵的理想升級替代品，尤其適用于需要清潔真空且對運行成本敏感的場合。
2. 核心特性
無油、清潔真空
泵腔內(nèi)無油潤滑，排氣不含油霧
不會產(chǎn)生油蒸氣回流，不污染工藝氣體或設(shè)備
適合半導(dǎo)體、分析儀器、實驗室等對環(huán)境潔凈度要求高的場合
氣冷式設(shè)計，無需水冷
采用空氣冷卻（風(fēng)扇強(qiáng)制風(fēng)冷），無需連接冷卻水
簡化安裝，降低運行成本
適合缺水或不便接冷卻水的場所
單級壓縮，結(jié)構(gòu)簡單
相比多級干泵，AA100W 結(jié)構(gòu)更緊湊
維護(hù)更簡便，零部件少
性價比高
耐腐蝕能力強(qiáng)
泵體內(nèi)部流道經(jīng)過特殊涂層處理（如Ni-P涂層、特氟龍涂層，視具體版本）
可耐受半導(dǎo)體工藝中常見的腐蝕性氣體（如Cl?、BCl?、SF?等）
對于可凝性蒸氣（如水汽、有機(jī)溶劑）有一定耐受能力
低噪音、低振動
采用平衡良好的螺旋轉(zhuǎn)子，運行平穩(wěn)
無需復(fù)雜的隔振基礎(chǔ)，可放置在機(jī)臺內(nèi)部或支架上
易于維護(hù)
無油品更換、無油過濾器、無油霧分離器等耗材
軸承采用長效潤滑脂密封，壽命長
維護(hù)周期長，降低總擁有成本
3. 工作原理
AA100W 采用螺桿式（螺旋式）干壓縮原理：
一對相互嚙合的螺旋轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)同步反向旋轉(zhuǎn)
氣體從進(jìn)氣口吸入，被轉(zhuǎn)子逐漸壓縮，從排氣口排出
轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔之間保持微小間隙，無需潤滑劑密封
壓縮熱通過泵體散熱片和強(qiáng)制風(fēng)冷風(fēng)扇散出
二、技術(shù)參數(shù)
注意：以下參數(shù)基于 EBARA AA100W 代表性規(guī)格整理。不同版本（如標(biāo)準(zhǔn)型、耐腐蝕型、高排氣溫度型）可能存在差異，請以最新規(guī)格書為準(zhǔn)。
1. 基本性能參數(shù)
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 抽速（50Hz） | 約 100 m3/h（≈ 1670 L/min） |
| 抽速（60Hz） | 約 120 m3/h（≈ 2000 L/min） |
| 極限壓力 | ≤ 2.0 Pa（絕對壓力，約 1.5×10?2 Torr） |
| 最大入口壓力 | 大氣壓（1013 hPa） |
| 最大排氣壓力 | 大氣壓（直排） |
2. 電機(jī)與電氣參數(shù)
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 電機(jī)功率 | 約 2.2 kW ～ 3.0 kW（視電壓/頻率） |
| 電源電壓 | 三相 AC 200V～230V / 380V～460V（50/60Hz） |
| 額定電流 | 約 8A～12A（視電壓） |
| 啟動方式 | 直接啟動或星三角啟動（推薦） |
| 電機(jī)防護(hù)等級 | IP54 或 IP55（防塵防水） |
| 絕緣等級 | F 級 |
3. 冷卻方式
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷（內(nèi)置風(fēng)扇） |
| 環(huán)境溫度范圍 | 5℃ ～ 40℃ |
| 最高排氣溫度 | 約 80℃ ～ 120℃（視工況） |
4. 接口與連接尺寸
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 進(jìn)氣口法蘭 | JIS VG 50 / ISO-KF 50（或 NW50） |
| 排氣口法蘭 | JIS VG 40 / ISO-KF 40（或 NW40，帶消音器） |
| 冷卻空氣接口 | 自帶風(fēng)扇，無外部接口 |
| 吹掃氣體接口 | 1/4英寸卡套接頭（用于N?吹掃，可選） |
5. 材質(zhì)與耐腐蝕性
| 部件 | 材質(zhì) |
|---|---|
| 泵體 | 鑄鐵或鋁合金（經(jīng)涂層處理） |
| 轉(zhuǎn)子 | 球墨鑄鐵（經(jīng)特殊涂層） |
| 涂層（標(biāo)準(zhǔn)型） | Ni-P 化學(xué)鍍鎳 |
| 涂層（耐腐蝕型） | PTFE（特氟龍）或 PFA（全氟烷氧基樹脂） |
| 密封件 | FKM（氟橡膠）或 FFKM（全氟醚橡膠） |
| 軸承 | 密封式深溝球軸承（長效潤滑脂） |
6. 噪音與振動
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 噪音（1m處，無消音器） | ≤ 72 dB(A) |
| 噪音（帶消音器） | ≤ 68 dB(A) |
| 振動 | ≤ 2.8 mm/s（RMS） |
7. 環(huán)境與安裝
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 工作環(huán)境溫度 | 5℃ ～ 40℃ |
| 工作環(huán)境濕度 | ≤ 90% RH（無凝結(jié)） |
| 存儲溫度 | -20℃ ～ 60℃ |
| 安裝方式 | 水平安裝（橡膠減震腳墊） |
| 防護(hù)等級 | IP54（標(biāo)準(zhǔn)型） |
8. 外形尺寸與重量
| 項目 | 尺寸（mm） |
|---|---|
| 長度（L） | 約 500 ～ 600 |
| 寬度（W） | 約 300 ～ 400 |
| 高度（H） | 約 350 ～ 450 |
| 重量 | 約 80 ～ 100 kg（視配置） |
具體尺寸建議參考產(chǎn)品圖紙或咨詢荏原代理商。
9. 吹掃（Purge）功能（可選）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 吹掃氣體 | N?（氮氣）或干燥空氣 |
| 吹掃流量 | 10 ～ 50 L/min（典型） |
| 吹掃接口 | 1/4英寸卡套 |
| 作用 | 稀釋腐蝕性氣體、稀釋可凝性蒸氣、冷卻轉(zhuǎn)子、防止粉塵堆積 |
三、典型用途與應(yīng)用場景
AA100W 憑借其中等抽速、無油潔凈、耐腐蝕、氣冷方便等特點，廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 具體用途 |
|---|---|
| 半導(dǎo)體制造 | 蝕刻設(shè)備（干法蝕刻）、CVD（化學(xué)氣相沉積）設(shè)備的反應(yīng)腔預(yù)抽及工藝排氣；晶圓傳輸腔（Load Lock）抽空 |
| FPD（平板顯示） | LCD/OLED 面板制造中的沉積、蝕刻工藝腔排氣 |
| LED/光電 | MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）設(shè)備尾氣處理前的粗抽 |
| 光伏（太陽能電池） | PECVD（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）設(shè)備工藝腔排氣 |
| 分析儀器 | 電子顯微鏡（SEM/TEM）樣品交換室預(yù)抽；質(zhì)譜儀前級泵；表面分析設(shè)備（XPS/AES）輔助真空 |
| 科研實驗室 | 真空鍍膜系統(tǒng)（蒸發(fā)鍍、濺射鍍）的粗抽；真空干燥箱；手套箱再生 |
| 一般工業(yè) | 真空包裝；真空脫氣（樹脂、環(huán)氧樹脂）；真空吸附/搬運；熱處理爐排氣 |
| 化學(xué)制藥 | 溶劑回收系統(tǒng)粗真空（需配合冷阱）；真空蒸餾（需耐腐蝕版本） |
四、與其他真空泵對比
| 對比項 | AA100W（干式螺桿） | 油旋片泵（同抽速） | 爪式干泵（同抽速） | 渦旋干泵（同抽速） |
|---|---|---|---|---|
| 排氣潔凈度 | 無油 | 有油霧 | 無油 | 無油 |
| 極限壓力 | ≤2 Pa | ≤0.5 Pa | ≤1 Pa | ≤1 Pa |
| 耐腐蝕氣體 | 良好（涂層） | 差（油易變質(zhì)） | 良好 | 一般 |
| 耐粉塵顆粒 | 良好（平滑流道） | 差（油中沉積） | 良好 | 一般（渦旋盤易磨損） |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 |
| 維護(hù)頻率 | 低（每1-2年） | 高（每月?lián)Q油） | 低 | 中等（換頂端密封） |
| 運行噪音 | ≤72dB | ≤70dB | ≤75dB | ≤65dB |
| 總擁有成本 | 中等（無耗材） | 高（油+過濾器） | 中等 | 中等 |
五、使用注意事項
啟動前準(zhǔn)備：
確保進(jìn)氣口和排氣口管路連接正確且無堵塞。
確認(rèn)電源電壓和頻率與泵銘牌一致。
檢查進(jìn)氣口是否安裝粗濾網(wǎng)（<100目），防止大顆粒異物進(jìn)入泵腔。
腐蝕性氣體處理：
對于強(qiáng)腐蝕性氣體（如Cl?、HCl、HF、BCl?），建議選配耐腐蝕涂層版本（PTFE/PFA涂層），并在停機(jī)前進(jìn)行氮氣吹掃，將泵腔內(nèi)殘余氣體置換干凈。
建議在進(jìn)氣口前端安裝冷阱或洗滌塔，減少可凝性蒸氣進(jìn)入泵體。
可凝性蒸氣處理：
若工藝產(chǎn)生大量水汽或有機(jī)溶劑蒸氣，建議開啟氮氣吹掃（10-20 L/min），稀釋蒸氣并降低其在泵腔內(nèi)冷凝的風(fēng)險。
保持泵的排氣溫度高于蒸氣的露點溫度（可通過降低冷卻風(fēng)扇風(fēng)量或關(guān)閉部分散熱片實現(xiàn)，需咨詢廠家）。
粉塵顆粒物：
在泵進(jìn)氣口前安裝高效過濾器（過濾精度 ≤1μm），防止粉塵進(jìn)入泵腔磨損轉(zhuǎn)子或堵塞間隙。
環(huán)境通風(fēng)：
AA100W 是風(fēng)冷式，必須確保泵周圍有足夠的通風(fēng)空間（至少20-30cm），以便熱空氣散出。如果安裝在密閉機(jī)柜內(nèi)，機(jī)柜需加裝排風(fēng)扇。
定期檢查：
每月：檢查進(jìn)氣口濾網(wǎng)、排氣口是否通暢；檢查風(fēng)扇是否正常運轉(zhuǎn)；傾聽有無異常噪音。
每6個月：檢查所有緊固螺栓是否松動；測量電機(jī)電流是否在正常范圍內(nèi)。
每年：更換進(jìn)氣口密封圈（如有老化）；檢查軸承是否有異常發(fā)熱或噪音。
軸承壽命：通常為 20000 小時以上，出現(xiàn)異響時需更換。
停機(jī)注意事項：
如果泵用于腐蝕性氣體工藝，停機(jī)前必須進(jìn)行氮氣吹掃（至少10分鐘），將泵腔內(nèi)的腐蝕性氣體置換干凈，防止停機(jī)后冷凝腐蝕。
長期停機(jī)（超過1個月）前，可注入少量干燥氮氣，封閉進(jìn)氣口和排氣口，防止潮氣進(jìn)入。
六、產(chǎn)品優(yōu)勢總結(jié)
| 優(yōu)勢 | 說明 |
|---|---|
| 無油 | 排氣潔凈，無油霧污染，適合潔凈工藝 |
| 風(fēng)冷設(shè)計 | 無需冷卻水，安裝簡便，運行成本低 |
| 耐腐蝕 | 特殊涂層處理，耐受半導(dǎo)體工藝腐蝕性氣體 |
| 低維護(hù) | 無油品/耗材更換，維護(hù)間隔長 |
| 中等抽速 | 100-120 m3/h，覆蓋多數(shù)實驗室及工業(yè)需求 |
| 低噪音 | ≤68-72 dB(A)，適合室內(nèi)安裝 |
| 可靠性高 | 荏原品牌，全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò) |
七、典型配置示例
半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備配套：
主泵：AA100W（耐腐蝕涂層版）
前級：無（AA100W可直接排大氣）
進(jìn)氣口：安裝不銹鋼燒結(jié)過濾器（5μm）
出氣口：排氣管道接至廠務(wù)排氣系統(tǒng)
吹掃：連接N?管路，流量20 L/min，與工藝機(jī)臺聯(lián)動控制
實驗室鍍膜系統(tǒng)：
主泵：AA100W（標(biāo)準(zhǔn)版）
前級：無（或配小型渦旋泵提高極限真空）
進(jìn)氣口：安裝100目不銹鋼濾網(wǎng)
出氣口：配消音器+活性炭過濾器（吸收微量油霧）
八、總結(jié)
EBARA 荏原 AA100W 是一款中等抽速（100 m3/h）、風(fēng)冷、無油、耐腐蝕的干式螺桿真空泵。其核心價值在于：
提供潔凈的粗真空，無油霧污染
氣冷設(shè)計簡化安裝，降低運行成本
耐腐蝕涂層適應(yīng)半導(dǎo)體等嚴(yán)苛工藝
低維護(hù)、長壽命，降低總擁有成本
它是油旋片泵的理想升級替代品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、LED、光伏、分析儀器、科研實驗及一般工業(yè)的粗真空獲取場景。
